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全自動(dòng)晶圓激光開槽設(shè)備

設(shè)備型號(hào):DSI-S-GV5232

應(yīng)用范圍:Lowk晶圓,GaN晶圓,非lowk晶圓



主要特點(diǎn):

設(shè)備特點(diǎn):

1、采用特殊定制的脈沖寬度激光加工,專為晶圓激光加工定制

a、采用超短脈沖寬度加工,有效提高切割線品質(zhì)

b、特殊定制的脈沖寬度開槽后,熱影響區(qū)<2um

2、整合多種激光微加工技術(shù),切割效率和工藝窗口兼?zhèn)?/span>

a、多種常規(guī)切割功能組合切換選擇

b、采用Mask+TOP-HAT光斑組合模組

c、經(jīng)過優(yōu)化的雙光路加工模組

3、采用高精度視覺檢測系統(tǒng)

4、可兼容8英寸和12英寸

5、自動(dòng)上下料功能,無人值守全自動(dòng)運(yùn)行,批量化生產(chǎn)



主要參數(shù):



主要參數(shù)加工尺寸8inch、12inch
加工速度100mm/s~600mm/s
加工精度≤±3μm
平臺(tái)參數(shù)600mm*600mm
激光器參數(shù)532nm,25W
稼動(dòng)率>0.95



加工效果:


      


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