采用激光整形技術(shù)將光斑整形成特定大小的方形光斑,結(jié)合高精度的對位和調(diào)平系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)高速、高效將芯片轉(zhuǎn)移到下層基板上,轉(zhuǎn)移效果良好,精度高,轉(zhuǎn)移過程對芯片無損傷;再通過激光定點(diǎn)去除,定點(diǎn)轉(zhuǎn)移及焊接完成修復(fù)動作。
Micro LED以其高亮度、高效率、低功耗等優(yōu)點(diǎn),可以勝任從大面積顯示器如廣告屏、電視等,到中小尺寸顯示器如平板電腦、手機(jī)、手表,再到可穿戴顯示器如AR/VR等多個領(lǐng)域的應(yīng)用場景。
精準(zhǔn)的視覺對位系統(tǒng)
高精度的上下基板調(diào)平系統(tǒng)
精準(zhǔn)的選擇性加工
可對MicroLED多處基板進(jìn)行修復(fù)
修復(fù)效率可達(dá)2KK/H
轉(zhuǎn)移效率可達(dá)2KK/H—100KK/H
加工良率高、精度高
位置精度可達(dá)±1.5μm