精密直線電機(jī)平臺(tái)基于精度高,速度快,高響應(yīng)的特點(diǎn),在面板與半導(dǎo) 體加工領(lǐng)域,如精密測(cè)量測(cè)試設(shè)備、激光加工設(shè)備、3C高精度自動(dòng)化設(shè) 備等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng),帶全閉環(huán)光柵反饋,
誤差更小,精度更高
可實(shí)現(xiàn)高速度,高加速度,
高響應(yīng)性
采用陶瓷、碳纖維、大理石等材質(zhì)制
作,重量輕,熱膨脹系數(shù)更低
穩(wěn)定性好,壽命長(zhǎng)
可根據(jù)客戶需求定制