結(jié)合飛秒激光電子動(dòng)態(tài)調(diào)控基本原理與技術(shù),大族半導(dǎo)體成功研制出 激光誘導(dǎo)蝕刻快速成型技術(shù)(LIERP)并率先在國(guó)內(nèi)客戶驗(yàn)證并成功實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
LIERP可以實(shí)現(xiàn)各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備,在半導(dǎo)體、顯示制造、消費(fèi)電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用潛力。
激光聚焦光斑極小及高圓度
可保證微孔形貌尺寸的一致性
靈活的柔性激光加工系統(tǒng)
產(chǎn)品設(shè)計(jì)者可依據(jù)自身需求獨(dú)特設(shè)計(jì)
LIERP可以實(shí)現(xiàn)高效率、
高精度、高品質(zhì)玻璃通孔(TGV)制備
TGV廣泛應(yīng)用于醫(yī)療器械、
射頻模塊、光電顯示等器件制備